•يتكون الميكروسكوب الالكتروني بصورة اساسية من حجرة تفريغ والعمود الالكتروني للميكروسكوب الذي يوجد فيه المصدر الالكتروني التي تولد حزمة من الالكترونات وجهاز ضوئي يوضح صورة الاجسام على شاشة فلورية او لوحة تصوير بالغة الحساسية ويتم الحصول على حزمة الالكترونات بتسخين سلك التنجستين مثلا ويتم تنشيط او اسراع الالكترونات بواسطة قوة الفولت المرتفعة المنشطة والتي توضع بين الكاثود والانود وتتم المحافظة على القطب السالب عند معدل الجهد الارضي بينما يكون القطب الموجب عند جهد سالب مرتفع ويتم العزل الكهربي بين القطب الموجب وبقية الميكروسكوب بواسطة الخزف او الزجاج ويشتمل الجهاز الضوئي في الميكروسكوب على عدسة تكثيف مغناطيسية تعمل على تركيز حزمة الالكترونات في العينيةوالعدسة الشيئية وعدسة العرض التي تعمل جميعها على تكوين صورة مكبرة للعينة على الشاشة الفلورية او الشريحة التصويرية ويجب ان تمر حزمة الالكترونات في الميكروسكوب الالكتروني خلال مسافة مفرغة تفريغا جيدا حتى لا تتشتت الالكترونات . فكرة عمله: تعتمد تكوين الصورة على أنه يحدث نتيجة لإرتطام الإلكترونات بسطح العينة ومنها تشتت متفاوت للإلكترونات.
